公司于2008年6月5日购进ZS800型光学真空镀膜机,经过装配及调试之后,已于本月投入使用。

    新镀膜机延续了老镀膜机的标准配置:石英晶体膜厚测控系统,触摸屏等,实现全自动蒸镀控制,保证每罩产品的一致性

    此外,ZS800型光学真空镀膜机配备了由南京涉谷公司生产的日本技术的电子枪,能够保证淀积速率的稳定;

    可编程扫描仪,控制光斑轨迹。更易于控制氧化锆(Zr02),氧化铪(Hf02)等材料的蒸发速率;

    采用台湾祯儒深冷冷阱,使真空室达到零下120度,大大提高了对水分子的捕捉能力;

    镀膜机的工件盘为行星转动。对零件的均匀性,尤其对大尺寸零件的均匀性能够保证中心波长的误差范围为+/-3nm。